实验名称：纳米压印执行器实验研究

　　测试设备：ATA-2082高压放大器、信号发生器、激光位移传感器、控制器等。

　　实验过程：

　　图1：实验平台

　　搭建了如图1所示的实验平台。实验过程：信号发生器输出的激励信号经过高压放大器放大之后传输至压电陶瓷，其中正极信号分别传输至两个压电陶瓷片的外侧电极，负极信号均连接至执行器梁末端的螺栓；激光位移传感器及其控制器是由24V电源供电，通过计算机上的控制软件控制激光位移传感器的各项参数；激光位移传感器的测量范围有限，在测量之前要保证传感器与被测量表面之间的距离，被测量表面的位移距离要在传感器的测量量程范围内。

　　实验结果：

　　图2：利用激光位移传感器测量测量执行器弯曲方向振动

　　根据仿真软件得到的仿真结果，执行器的共振频率在40kHz左右，利用信号发生器产生频率在38kHz至42kHz范围内的正弦波信号，经高压放大器放大至150V后传输至压电陶瓷，利用激光位移传感器收集不同频率的正弦激励信号下执行器尖端的位移数据，得到不同频率下执行器尖端的振幅，根据所得到的数据确定执行器的共振频率以及振幅。

　　高压放大器推荐：ATA-2082

　　图：ATA-2082高压放大器指标参数

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